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报告题目： |
MEMS惯性传感器EM-∑ΔM闭环控制技术研究 |
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报告人： |
陈方 |
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报告人单位： |
中科院上海微系统与信息技术研究所 |
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报告时间： |
2017年4月10日17:00—18:00 |
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报告地点： |
引力中心三楼会议室 |
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报告摘要： |
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基于Sigma-Delta Modulator (∑ΔM)的数字闭环控制技术不仅实现了闭环力反馈控制，并且完成了信号的模数转换，能有效提高电容式MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的动态范围、带宽和线性度等指标。本报告主要从微机电EM-SDM闭环控制机理出发，介绍了微机电EM-SDM控制系统的结构设计、稳定性分析、参数优化等内容，以及在MEMS陀螺仪、MEMS加速度上的研究进展。 |
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报告人简介： |
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陈方，2014年于西北工业大学获工学博士学位，2011年在英国南安普顿大学进行博士联合培养，目前为中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室助理研究员。主要从事MEMS惯性传感器、C/V接口电路、微机电Electro-Mechanical Sigma-delta Modulator (EM-∑ΔM) 闭环控制系统等研究工作。在国内首次研制出精度1.3deg/hr的全数字EM-∑ΔM微机械陀螺仪，推动了高精度MEMS陀螺仪的国产化进程；研制出中等量程的EM-∑ΔM微机械加速度计，在国内某型号武器系统上实现了初步测试和应用。 |
